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 GateKeeper GPU系列凈化器旨在提高工藝氣體的一致性、使用壽命和出口純度。

純度至 ppt 水平
廣泛的氣體兼容性，包括腐蝕性氣體如Cl2、HBr、HCl、CF4、SO2、SF6
凈化器壓降低
CE認證符合壓力設備指令PED，并在ISO 9001-2000設施中制造
可再生 – 消除處理問題和成本
長壽命 - 改進的擁有成本
使用環境溫度凈化  

OPERATING SPECIFICATIONS

—

Model

Maximum

flow rate

Lifetime is 1

year at this

flow rate,

with 1 ppm

moisture and

1 ppm oxygen

Maximum

operating

pressure –

purifier only

Maximum

operating

pressure –

purifier with

options

Pressure drop,

with 20 μm

particle filter*

Pressure

drop, with

0.0015 μm

particle filter*

GPU 200 20 slpm 1.4 slpm 800 psig 250 psig – 0.7 psid

GPU 300 50 slpm 2.1 slpm 800 psig 250 psig – 1.3 psid

GPU 500 75 slpm 4.3 slpm 600 psig 250 psig – 1.3 psid

GPU 700 120 slpm 6.0 slpm 600 psig 250 psig – 1.8 psid

GPU 2500 4R 300 slpm 22.5 slpm 505 psig 250 psig – 5.0 psid

GPU 2500 8R 500 slpm 22.5 slpm 505 psig 250 psig – 5.6 psid

GPU 3000 500 slpm 26.3 slpm 505 psig 250 psig – 5.6 psid

GPU 5000 500 slpm 42.0 slpm 505 psig 250 psig – 7.0 psid

GPU 10M 8R 1,000 slpm 88.0 slpm 370 psig 250 psig – 5.8 psid

GPU 10M 12R 1,000 slpm 88.0 slpm 370 psig 250 psig – 8.0 psid

GPU 13M 12R 2,000 slpm 107.0 slpm 370 psig 250 psig 2.0 psid –

GPU 13M 16R 2,500 slpm 107.0 slpm 370 psig 250 psig 3.0 psid –

GPU 17M 12R 2,000 slpm 132.0 slpm 370 psig 250 psig 2.0 psid –

GPU 17M 16R 2,500 slpm 132.0 slpm 370 psig 250 psig 3.0 psid –

GPU 20M 12R 2,000 slpm 160.0 slpm 370 psig 250 psig – 19.0 psid

GPU 20M 16R 2,500 slpm 160.0 slpm 370 psig 250 psig – 19.0 psid

*Purifier only at maximum flow rating with 90 psig inlet pressure

4

FACILITY SPECIFICATIONS

—

GPU model

Connection

size (VCR)

Inlet/outlet

connection type

(VCR)

Outside

diameter (OD)

Overall length

(OAL)

Approximate

weight

GPU 200 1/4" Male/male 50.8 mm (2.0") 157 mm (6.2") 0.9 kg (2.0 lbs)

GPU 300 1/4" Male/male 50.8 mm (2.0") 208 mm (8.2") 1.1 kg (2.5 lbs)

GPU 500 1/4" Male/male 76.2 mm (3.0") 201 mm (7.9") 1.8 kg (4.0 lbs)

GPU 700 1/4" Male/male 76.2 mm (3.0") 254 mm (10.0") 2.5 kg (5.5 lbs)

GPU 2500 4R 1/4" Male/male 101.6 mm (4.0") 439 mm (17.3") 6.8 kg (15 lbs)

GPU 2500 8R 1/2" Male/male 101.6 mm (4.0") 445 mm (17.5") 6.8 kg (15 lbs)

GPU 3000 1/2" Male/male 101.6 mm (4.0") 508 mm (20.0") 7.3 kg (16 lbs)

GPU 5000 1/2" Male/male 101.6 mm (4.0") 785 mm (30.9") 10.0 kg (22 lbs)

GPU 10M 8R 1/2" Male/male 152.4 mm (6.0") 737 mm (29.0") 20 kg (44 lbs)

GPU 10M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 749 mm (29.5") 21.8 kg (48 lbs)

GPU 13M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 892 mm (35.1") 24.9 kg (55 lbs)

GPU 13M 16R 1" Male/male 152.4 mm (6.0") 899 mm (35.4") 24.9 kg (55 lbs)

GPU 17M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 1085 mm (42.7") 29.5 kg (65 lbs)

GPU 17M 16R 1" Male/male 152.4 mm (6.0") 1090 mm (42.9") 29.5 kg (65 lbs)

GPU 20M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 1290 mm (50.8") 34 kg (75 lbs)

GPU 20M 16R 1" Male/male 152.4 mm (6.0") 1296 mm (51.0") 34 kg (75 lbs)

5

FACILITY SPECIFICATIONS, PURIFIERS WITH ISOLATION VALVES

—

GPU model

Connection

size (VCR)

Inlet/outlet

connection type

(VCR)

Outside

diameter (OD)

Overall length

(OAL) with valves

Approximate

weight with valves

GPU 200 1/4" Female/female 50.8 mm (2.0") 307 mm (12.1") 1.7 kg (3.7 lbs)

GPU 300 1/4" Female/female 50.8 mm (2.0") 358 mm (14.1") 1.8 kg (3.8 lbs)

GPU 300 (GC 300) 1/4" Female/male 83.8 mm (3.3") 401.3 mm (15.8") 2.3 kg (5.1 lbs)

GPU 500 1/4" Female/female 76.2 mm (3.0") 351 mm (13.8") 2.7 kg (6.0 lbs)

GPU 700 1/4" Female/female 76.2 mm (3.0") 404 mm (15.9") 4.4 kg (9.6 lbs)

GPU 2500 4R 1/4" Female/female 101.6 mm (4.0") 592 mm (23.3") 6.8 kg (15 lbs)

GPU 2500 8R 1/2" Female/female 101.6 mm (4.0") 714 mm (28.1") 8.0 kg (17.7 lbs)

GPU 3000 1/2" Female/female 101.6 mm (4.0") 777 mm (30.6") 8.5 kg (18.7 lbs)

GPU 5000 1/2" Female/female 101.6 mm (4.0") 1054 mm (41.5") 12.5 kg (27.6 lbs)

GPU 10M 8R 1/2" Female/male 152.4 mm (6.0") 970 mm (38.2") 22.5 kg (49.6 lbs)

GPU 10M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1125 mm (44.3") 24.9 kg (55.0 lbs)

GPU 13M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1270 mm (50.0") 28.1 kg (62.0 lbs)

GPU 13M 16R 1" Female/female 152.4 mm (6.0") 1308 mm (51.5") 29.5 kg (65.0 lbs)

GPU 17M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1461 mm (57.5") 32.7 kg (72.0 lbs)

GPU 17M 16R 1" Female/female 152.4 mm (6.0") 1499 mm (59.0") 34.0 kg (75.0 lbs)

GPU 20M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1666 mm (65.6") 37.2 kg (82.0 lbs)

GPU 20M 16R 1" Female/female 152.4 mm (6.0") 1705 mm (67.1") 38.6 kg (85.0 lbs)

 

 應用程序

GateKeeper GPU 氣體凈化器 應用
批量氣體交付
光刻術
外延生長
干法刻蝕
晶圓生長
沉積
參考資料
產品文檔
發表于2021年2月1日
數據表
GateKeeper GPU AP 媒體氣體凈化器
下載 PDF
344.8 千字節
發表于2021年2月1日
數據表
GateKeeper GPU BX媒體氣體凈化器
下載 PDF
344.2 千字節
發表于2021年2月1日
數據表
GateKeeper GPU CO 介質氣體凈化器
下載 PDF
345.2 千字節
發表于2021年2月1日
數據表
GateKeeper GPU CR 媒體氣體凈化器
下載 PDF
338.1 千字節
發表于2021年2月1日
數據表
GateKeeper GPU DZ 媒體氣體凈化器
下載 PDF
376.3 千字節
發表于2026年1月1日
數據表
GateKeeper GPU EX 媒體氣體凈化器
下載 PDF
379.5 千字節
發表于2021年2月1日
數據表
GateKeeper GPU FX 媒體氣體凈化器
下載 PDF
336.1 千字節
發表于2021年2月1日
數據表
GateKeeper GPU HX 媒體氣體凈化器
下載 PDF
386.7 千字節
發表于2021年2月1日
數據表
GateKeeper GPU IX 媒體氣體凈化器
下載 PDF
388.8 千字節
發表于2021年2月1日
數據表
GateKeeper GPU LG 媒體氣體凈化器
下載 PDF
385.6 千字節
發表于2021年2月1日
數據表
GateKeeper GPU NX 媒體氣體凈化器
下載 PDF
387.1 千字節
發表于2021年2月1日
數據表
GateKeeper GPU OP 媒體氣體凈化器
下載 PDF
378.7 千字節
發表于2021年2月1日
數據表
GateKeeper GPU TX 媒體氣體凈化器
下載 PDF
388.0 千字節
發表于2021年2月1日
數據表
GateKeeper GPU WX 媒體氣體凈化器
下載 PDF
388.7 千字節
發表于2021年2月1日
數據表
GateKeeper GPU WY 媒體氣體凈化器
下載 PDF
387.4 千字節
發表于2021年9月1日
數據表
GateKeeper GPU YX 媒體氣體凈化器
下載 PDF
397.6 千字節
發表于2024年1月1日
數據表
突破性生命終結指標 (BTI)
下載 PDF
267.7 千字節
發表于2018年3月1日
技術說明
從氣體流中減少金屬污染物
下載 PDF