應特格Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器，WG2FT1RR2，常賣型號！
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推薦用于惰性和反應性氣體，這些氣體過濾器與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性，并且易于安裝在狹小的氣體面板和柜子中。
PTFE 膜提供高效過濾
低壓降減少了低蒸汽壓氣體中冷凝的風險
與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性
用于惰性氣體和反應性氣體，包括臭氧
產(chǎn)品規(guī)格
材料
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過濾元件
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疏水性PTFE膜由模壓PFA結構支撐 |
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住房 |
電拋光 VAR 316L 不銹鋼 |
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Downstream cleanliness |
Less than 0.03 particles/liter (<1 particle/ft3) greater than 0.01 µm |
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Volatiles |
<10 ppb moisture |
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Removal rating |
≥0.0015 µm |
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Surface finish interior |
≤7 µin Ra |
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Helium leak rating |
Qualified |
2 × 10-10 cc/sec |
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Tested |
1 × 10-9 cc/sec |
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Operating conditions |
Maximum inlet pressure |
207 barg (3000 psig) @ 23°C (73°F) |
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Maximum forward differential pressure |
4 bar (60 psid) @ 23°C (73°F)
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Maximum reverse differential pressure |
0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
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Maximum operating temperature |
120°C (248°F) |
Particle retention
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Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles @ 30 slpm (referenced at the most penetrating particle size) |
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Flow rating |
Refer to performance data |
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零件編號
Wafergard
II F 微型在線氣體過濾器 部件編號
部件編號 適配尺寸和類型 長度 申請
WG2FT1BW2 1/4" 對焊管 89.9 毫米 (3.54英寸) 半導體
WG2FT1RF2 1/4" 墊密封 (兼容VCR接頭) 陽口進/陰口出 88.9 毫米 (3.50英寸) 半導體
WG2FT1RR2 1/4" 墊片密封（兼容VCR接頭）陽口入口/出口 84.1 毫米 (3.31英寸) 半導體
WG2FT1RR2L 1/4" 墊片密封（兼容VCR接頭）陽口入口/出口 84.1 毫米 (3.31英寸) 生命科學
WG2FT1SS2 1/4" 壓縮密封（兼容Swagelok接頭） 73.7 毫米 (2.90英寸) 半導體
