應特格Wafergard® II F Mini XL 在線氣體過濾器WG2F02RR2
應特格Wafergard® II F Mini XL 在線氣體過濾器WG2F02RR2，特價型號，常備現(xiàn)貨！
應特格Wafergard® II F Mini XL 在線氣體過濾器WG2F02RR2，特價型號，常備現(xiàn)貨！
應特格Wafergard® II F Mini XL 在線氣體過濾器WG2F02RR2，特價型號，常備現(xiàn)貨！
在氣體面板、氣體柜以及任何需要超純氣體進行晶圓處理的地方，提供卓越的顆粒過濾。
緊湊型單元減少了整體氣箱的占用空間，節(jié)省了寶貴的設備空間
PTFE 膜提供高效過濾，提高產品產量
低壓力降減少了低蒸汽壓氣體中冷凝的風險
與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性
用于惰性氣體和反應性氣體，包括臭氧
應用程序
Wafergard
II F Mini XL 在線氣體過濾器 應用
臭氧應用（氣體）
燃氣柜
超純氣體系統(tǒng)
閥門歧管箱
燃氣面板
產品規(guī)格
材料 過濾元件 疏水性PTFE膜由模壓PFA結構支撐
住房 電拋光316L不銹鋼
下游清潔度 粒子 <0.03顆粒/升（
揮發(fā)性 <10 ppb 水分
去除率 0.0015 微米
表面處理內部 ≤10 µin Ra
氦氣泄漏等級 合格 2 × 10-10 氣壓/立方厘米·秒
測試通過 1 × 10-9 氣壓/立方厘米·秒
操作條件 最大入口壓力： 20.7 MPa (207 barg; 3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大正向差壓： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最大壓差： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作溫度： 120°C (248°F)
顆粒保留 去除99.9999999%（9個低呼吸體積）以上的所有顆粒，流量為100標準升每分鐘（參考最穿透顆粒尺寸）
流量評級參考性能數(shù)據
零件編號
Wafergard
II F Mini XL 在線氣體過濾器 部件編號
部件編號 適配尺寸和類型 長度
WG2F02JJ2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25英寸）
WG2F02JJ4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25英寸）
WG2F02PS1 1/4" 壓縮密封（兼容Swagelok接頭）陽口入口/出口 115.5 毫米 (4.55英寸)
WG2F02RR2 1/4" 墊片密封（兼容VCR接頭）陽口入口/出口 127.0 毫米 (5.00英寸)
WG2F02RR4 1/2" 墊片密封（兼容VCR接頭）陽口入口/出口 133.4 毫米（5.25英寸）
WG2F32PS1 3/8" 壓縮密封（兼容Swagelok接頭）陽螺紋入口/出口 119.3 毫米 (4.70英寸)
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WG3NSMSL2 氣體過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 氣體過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 氣體過濾器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WGFG02PS1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGFG01DS0 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGMXMBSS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBSS2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 過濾器
ENTEGRIS SVEG01P01
ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS LGMXFPSS3
ENTEGRIS WGMXMPRR2
Entegris WG3D40DR2 過濾器
Entegris WG3D40DR2 過濾器
ENTEGRIS WG2F40RR3
ENTEGRISWGMXMBSS4過濾器
應特格Wafergard® II F Mini XL 在線氣體過濾器WG2F02RR2，特價型號，常備現(xiàn)貨！
應特格Wafergard® II F Mini XL 在線氣體過濾器WG2F02RR2，特價型號，常備現(xiàn)貨！
應特格Wafergard® II F Mini XL 在線氣體過濾器WG2F02RR2，特價型號，常備現(xiàn)貨！
在氣體面板、氣體柜以及任何需要超純氣體進行晶圓處理的地方，提供卓越的顆粒過濾。
緊湊型單元減少了整體氣箱的占用空間，節(jié)省了寶貴的設備空間
PTFE 膜提供高效過濾，提高產品產量
低壓力降減少了低蒸汽壓氣體中冷凝的風險
與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性
用于惰性氣體和反應性氣體，包括臭氧
應用程序
Wafergard
II F Mini XL 在線氣體過濾器 應用
臭氧應用（氣體）
燃氣柜
超純氣體系統(tǒng)
閥門歧管箱
燃氣面板
產品規(guī)格
材料 過濾元件 疏水性PTFE膜由模壓PFA結構支撐
住房 電拋光316L不銹鋼
下游清潔度 粒子 <0.03顆粒/升（
揮發(fā)性 <10 ppb 水分
去除率 0.0015 微米
表面處理內部 ≤10 µin Ra
氦氣泄漏等級 合格 2 × 10-10 氣壓/立方厘米·秒
測試通過 1 × 10-9 氣壓/立方厘米·秒
操作條件 最大入口壓力： 20.7 MPa (207 barg; 3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大正向差壓： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最大壓差： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作溫度： 120°C (248°F)
顆粒保留 去除99.9999999%（9個低呼吸體積）以上的所有顆粒，流量為100標準升每分鐘（參考最穿透顆粒尺寸）
流量評級參考性能數(shù)據
零件編號
Wafergard
II F Mini XL 在線氣體過濾器 部件編號
部件編號 適配尺寸和類型 長度
WG2F02JJ2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25英寸）
WG2F02JJ4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25英寸）
WG2F02PS1 1/4" 壓縮密封（兼容Swagelok接頭）陽口入口/出口 115.5 毫米 (4.55英寸)
WG2F02RR2 1/4" 墊片密封（兼容VCR接頭）陽口入口/出口 127.0 毫米 (5.00英寸)
WG2F02RR4 1/2" 墊片密封（兼容VCR接頭）陽口入口/出口 133.4 毫米（5.25英寸）
WG2F32PS1 3/8" 壓縮密封（兼容Swagelok接頭）陽螺紋入口/出口 119.3 毫米 (4.70英寸)
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WG3NSMSL2 氣體過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 氣體過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 氣體過濾器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WGFG02PS1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WGFG01DS0 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGMXMBSS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBSS2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 過濾器
ENTEGRIS SVEG01P01
ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS LGMXFPSS3
ENTEGRIS WGMXMPRR2
Entegris WG3D40DR2 過濾器
Entegris WG3D40DR2 過濾器
ENTEGRIS WG2F40RR3
ENTEGRISWGMXMBSS4過濾器