氣體過濾器
鎳、不銹鋼、合金-22 和聚四氟乙烯過濾技術。Entegris超純氣體過濾產品為超純氣體應用提供0.0015微米的顆粒過濾。
氣體過濾器在減少氣體箱整體尺寸的同時，使過程氣體的通量更高。
精選白皮書
消除不需要的氧氣：從源頭防止設備故障
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視頻氣體過濾的歷史Rob Zeller，研究工程師，解釋了什么是氣體過濾器，氣體過濾的歷史，以及它們如何被引入需要嚴格清潔規格以保持生產力和產量的高端半導體芯片制造應用中。
其他氣體過濾器Wafergard
GN氣體過濾槍是一種易于使用、輕便的POU（使用點）解決方案，用于控制氣體污染。過濾元件是Entegris公司獨家設計，用于各種半導體工藝。
在線PTFE氣體過濾器我們的氣體過濾器提供卓越的顆粒過濾，以最小化壓力降并最大化過濾器壽命。可選擇Wafergard
和Linegard
在線氣體過濾器。
在線不銹鋼氣體過濾器Entegris的在線不銹鋼氣體過濾器專為高壓和高溫應用設計。它們易于安裝，無需進行設計更改。
在線鎳氣過濾器Entegris的超純鎳過濾器是高壓、高溫應用中清潔度和效率最高的氣體過濾產品。
表面貼裝氣體過濾器提供不銹鋼或鎳過濾元件，Wafergard 氣體過濾器提供終極過程保護、優越的耐腐蝕性和與惰性、氫化物和反應性氣體的出色兼容性。
表面貼裝設計節省氣體面板的空間，減少零件庫存和差異。我們的表面貼裝氣體過濾器產品組合包括C密封1.125英寸和W密封1.125英寸或1.5英寸格式。
在線合金-22氣體過濾器Wafergard
IV合金-22（通常以品牌名稱HASTELLOY
C-22
合金稱呼）過濾器是適用于腐蝕性和超純環境的最清潔、最高效、全金屬過濾器。
通風氣體過濾器我們的氣體過濾器提供卓越的顆粒過濾，高效控制多種生命科學、微電子、食品和飲料及其他應用中的污染。
批量氣體過濾器和外殼兼容多種散裝氣體，包括CDA氮氣、氬氣、氧氣、氫氣和氦氣。每個解決方案都是根據流量、供應壓力和供應純度設計的。
消除不需要的氧氣：從源頭防止設備故障（白皮書）
對于地球上的大部分地區，氧氣是生命之血。對于先進的半導體和微電子制造工藝來說，氧氣既是盟友也是敵人。在最壞的情況下，它的存在可能導致導致器件失效的柵電極形成缺陷。
例如，在一個自動化的300毫米晶圓廠中，晶圓在通過各種材料處理系統和晶圓處理傳輸機制的不同工具時，會經歷600到1000個工藝步驟。
大量的工藝步驟和多樣的工具為氧誘導缺陷的發生創造了無數的機會。
增加了暴露于氧氣中的威脅，半導體器件繼續縮小，制造這些新設計變得越來越昂貴且越來越復雜。結果，缺陷的風險增加，無謂地危及最終產量，最終危及收入。
如果像預測的那樣，依賴半導體技術的技術廣泛普及，那么對芯片的需求量將呈指數級增長，從而產生相應的潛在缺陷和財務影響。
因此，我們相信在這個由新的電子設備驅動的世界中，芯片制造商必須優先防止諸如不需要的氧氣等污染物進入半導體、LED或OLED的制造過程（如圖1所示）。
本文強調了在先進邏輯、LED和OLED電子設備組件制造過程中，消除基本薄膜沉積過程中氧氣的數量、流程、科學和解決方案。
它還解釋說，在可能的情況下，使用設計用于去除含氧污染物的凈化產品，提供了有效的第一道防線，以防止設備故障。
氣體過濾和凈化
在空氣、散裝氣體或特定氣體的過濾和凈化方面，Entegris擁有專業知識、技術和解決方案來滿足您的需求。
無論是用于點對點氣體輸送還是大規模氣體供應，是在腔室內還是在晶圓上，是在潔凈室還是在工具上，Entegris 長期以來一直提供高性能的氣體和空氣凈化及過濾產品，以滿足您的需求。
藏在明處：一種提高氣體純度和減少晶圓缺陷的預防性維護策略
AMC 過濾器潔凈室、掃描儀和工藝工具化學空氣過濾器
空氣和氣體過濾膜疏水MCE膜用于空氣和氣體過濾
氣體過濾器在氣體過程中使用鎳、不銹鋼和PTFE膜技術進行污染控制
氣體擴散器快速向大氣排放，不向腔室內添加顆粒。
氣體凈化器有各種各樣的材料可以將氣體凈化到十億分之一 (ppt) 的水平。
Wafergard
MAX HT 在線氣體過濾器
在高溫應用（高達200°C）中提供卓越的顆粒過濾。
Wafergard
MAX 在線PTFE氣體過濾器
這些在線PTFE氣體過濾器與高純氣體兼容，并且在超純氣體應用以及一般的氮氣和CDA應用中提供卓越的顆粒過濾。
Wafergard
MAX-1000 在線PTFE氣體過濾器
Wafergard
MAX-1000 在線PTFE氣體過濾器為超純氣體應用提供卓越的顆粒過濾。
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Wafergard
II F 微型在線氣體過濾器
卓越的顆粒過濾，用于超純氣體系統的過濾。推薦用于惰性和反應性氣體，Wafergard
II F 微型在線氣體過濾器與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性。
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Wafergard
II F Mini XL 在線氣體過濾器
這些濾芯適用于惰性氣體和反應性氣體（包括臭氧），在氣體面板、氣體柜以及需要超高純度氣體進行晶圓處理的任何地方，它們都能提供卓越的顆粒過濾效果。
Wafergard
GTL 在線氣體過濾器
Wafergard
GTL 在線氣體過濾器專為從惰性氣體中去除顆粒而設計，流量高達 80 slpm。
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Wafergard
SG 氣體過濾器
Wafergard
SG FG 氣體過濾器提供卓越的顆粒過濾，以最大化光伏電池和顯示屏的制造產量。PTFE 過濾元件與高純度工藝氣體以及惰性氣體和 CDA 應用兼容。
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Wafergard
GT-Plus 在線氣體過濾器
Wafergard
GT-Plus在線氣體過濾器可去除惰性氣體中的顆粒，流量高達30 slpm。
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Linegard
GIGAX-FP 過濾器
具有成本效益的0.0015 µm過濾器，適用于非關鍵性應用中的高流量范圍。
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Linegard
MAX-FP 氣體過濾器
具有成本效益的0.0015 µm過濾器，適用于中流范圍，非關鍵應用。
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Wafergard
II SF 半在線氣體過濾器
Wafergard II SF 半在線氣體過濾器是高純氣體系統中首選的過濾器，特別適用于全不銹鋼結構的應用場合。
其先進的外殼組件通過最小化焊接區域來消除材料的揮發。全金屬結構非常適合高溫和動態壓力應用。
其緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最佳的設計效率并最大限度地降低了工程成本。
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Wafergard
II SF 微型 XL 在線氣體過濾器
Wafergard
II SF Micro XL 在線氣體過濾器是高純度氣體系統中首選的過濾器，特別適用于所有不銹鋼結構的系統。
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Gasketgard
在線墊片過濾器
Gasketgard
在線墊片過濾器是一種緊湊型、全金屬過濾器，可替代標準的1/4"、3/8"和1/2" VCR
墊片。
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Wafergard
II SF迷你/迷你XL在線氣體過濾器
Wafergard
II SF Mini 和 Mini XL 在線氣體過濾器是高純氣體系統中首選的過濾器，特別適用于所有不銹鋼結構的系統。
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Wafergard
II 3XP 在線氣體過濾器
所有不銹鋼氣體過濾器，適用于UHP應用，中等流量范圍，最高達500標準升每分鐘。
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